
易度MFC賦能CVD硅碳負極工藝革新
硅碳負極材料制備所使用的流化床設備,要求控制硅烷、乙炔、氮氣、氬氣等多種氣體,需要確保硅烷或碳源氣體與載氣之間的比例恒定。易度MFC一臺可切換多種氣體,長期使用零漂小,控制快速穩定,已在硅碳負極材料制備設備中得到充分應用。自帶電池的便攜式流量計可方便地對設備中的MFC進行定期巡檢。
泄漏率低 不易堵塞 -20℃~50℃可用 可在線校準

更多場景應用
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服務優勢
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原理優勢
領先的層流原理,產品精度高、穩定性高、響應速度快
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技術優勢
14年的技術積累,核心器件完全自主研發,定制性強,適應性寬
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應用優勢
行業龍頭客戶長期批量使用,各種應用工況經驗豐富
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服務優勢
1小時及時響應,24小時方案呈現,貨期短,服務靈活性強